UHD面板帶動銅電極制程應(yīng)用的成長

直到2000年代中期，除Sharp之外，大部分的TFT-LCD面板制造商采用鋁或AI(鉬Mo或鉬合金)于gate與S/D電極上，雖然也有部分設(shè)備采用鉻(Cr)，但90%以上設(shè)備仍以AI為主。隨著電視面板尺寸的大型化，電極需要更低的電阻金屬，因此提高了對銅(Cu)電極的需求。

銅電極與AI相比其導(dǎo)電率較高，若將配線的粗細制做得相對較細，也幾乎不會產(chǎn)生電子信號失常的現(xiàn)象，且能夠傳送穩(wěn)定信號。由此可以改善響應(yīng)速度及亮度等問題。另外，在大尺寸TV面板制造過程更顯優(yōu)勢，將不再為了改善導(dǎo)電率，增加其他附加的材料或制程。因此，許多廠商投入大量研發(fā)于銅電極制程的量產(chǎn)。

LG Display自2006年開始，為全球第一家廠商將銅電極導(dǎo)入其量產(chǎn)產(chǎn)線之中。并且，LGD在2008~2009年大幅提高了銅電極的應(yīng)用比重，直至目前大部分的產(chǎn)品均已采用銅電極制程。在LG Display引進銅電極之后，三星Display，AUO，Innolux，Panasonic LCD，Sharp等企業(yè)也開始跟進銅電極制程，但直至2010年為止，除LG Display以外，尚無企業(yè)能順利量產(chǎn)銅電極制程的面板。

2010年下半年起，三星電子(現(xiàn)三星Display)為全球第二家廠商開始將銅電極應(yīng)用于產(chǎn)線，但經(jīng)歷諸多困境，在產(chǎn)線擴大應(yīng)用方面，花費許多時間，2013年以后，三星Display終于也在大部分的量產(chǎn)產(chǎn)線中采用了銅電極。雖然早期對S/D的銅電極采用比重極為低，但近期在S/D電極上采用銅電極的比重正在大幅提高。除LG Display以外的其他企業(yè)，雖然也都認知到銅電極的必要性，正不斷地對其進行著研究開發(fā)，但自LG Display采用后，只少需要花五年以上的時間來實現(xiàn)銅電極的應(yīng)用。但隨著面板分辨率的飛躍性發(fā)展與UHD面板量產(chǎn)的開始對銅電極的必要性正逐漸被放大。

據(jù)了解，為迎合目前的市場氛圍，三星Display正將銅電極應(yīng)用的比重大幅增加，而臺灣的AUO在經(jīng)歷過長期開發(fā)之后，最終也從2013年正式開始將銅電極應(yīng)用于量產(chǎn)產(chǎn)在線。另外，隨著2013~2014年UHD面板的生產(chǎn)開始增加后，正準(zhǔn)備實施UHD面板批量生產(chǎn)的中國面板制造商，也正努力研究產(chǎn)線中銅電極的應(yīng)用。同時，2014年CSOT與BOE已計劃將銅電極應(yīng)用于部分設(shè)備上。

由于UHD面板的暢銷，銅配線的必要性也隨之變大。據(jù)此主要TFT LCD面板制造商，正擴大對銅配線的應(yīng)用或正處于導(dǎo)入的準(zhǔn)備之中。由此可推斷銅將成為TFT LCD面板配線的主流。

在IHS近期發(fā)行的“TFT LCD面板的銅電極適用動向”報告書中探討了銅電極應(yīng)用擴大的趨勢，主要TFT LCD面板制造商(LGC,SDC,AUO,INX,BOE,CSOT)的銅電極采用現(xiàn)狀及其開發(fā)動向。本報告書中分析了面板制造商的產(chǎn)線別銅電極應(yīng)用現(xiàn)狀，銅電極應(yīng)用結(jié)構(gòu)，銅電極結(jié)構(gòu)及根據(jù)設(shè)備而定的生產(chǎn)比重，已導(dǎo)入銅電極的主要面板金屬層結(jié)構(gòu)(厚度及物質(zhì))等。另外，也展望了2014~2015年各面板制造商對銅電極的產(chǎn)線別應(yīng)用變化。