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原始的ITO的玻璃是在玻璃基板上覆蓋一層ITO膜。要在ITO玻璃上做出圖形,先要涂上一層感光抗蝕材料(光刻膠),然后將有圖形的掩膜版覆蓋在光刻膠玻璃上。光刻掩膜版的圖形是由黑白兩種狀態(tài)組成,黑色不透光,白色透光。在覆蓋有掩膜版的玻璃上曝光時,光刻膠發(fā)生變化,受光部分經(jīng)顯影溶解掉,露出ITO膜,再將露出的ITO膜蝕掉,最后ITO玻璃上形成了與掩膜版完全一致的ITO圖形。
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